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全自动晶圆激光全切割设备
发布时间:2021-08-31 11:55
用于对硅、砷化镓、氮化镓的切割,可针对 2 寸、4 寸、6 寸、8寸、12寸晶圆的划片加工晶圆激光全切割,还可以针对超薄晶圆进行激光全切割。
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